真空的寄义是指在给定的空间内低于一个大气压力的气体形态。经常运用的真空度单元有帕斯卡（Pascal）或托尔（Torr）等。

　　用于对外表外表停止金属膜或碳膜堆积，完成样品导电化。EM ACE200是低真空镀膜仪，可选功用：离子溅射形式，碳丝蒸发形式，溅射-蒸碳双形式，辉光放电形式（用于铜网外表亲水化）。EM ACE600是高真空镀膜仪，可选功用：离子溅射形式，碳丝蒸发形式，碳棒（热阻）蒸发形式，电子束蒸发镀膜形式，双溅射形式，溅射-碳丝双形式，溅射-碳棒双形式，溅射-电子束双形式，双电子束形式，辉光放电形式（用于铜网外表亲水化），而且可兼容EM VCT500真空传输体系。

　　用于离子束无应力“切割”多层膜质料bob官方app下载，软硬复合质料等高难度制备样品，可有用制止涂抹效应，不需求大批探索前提便可患上到幻想的样品外部截面，合用于SEM察看或EBSD阐发等

　　在真空泵一般事情，真空规准确丈量的状况下，真空度还会遭到真空室净化物、冷凝水、吸附气体bob官方app下载、物资分散、浸透以及走漏等身分的影响。

　　次要用于对无机质料薄片样品停止离子减薄，合用于TEM样品制备；也可用于SEM样品离子束抛光，离子束刻蚀，样品外表氩离子洗濯及斜坡切割。

　　在真空情况下能够有用避免物资氧化,真绝后提下能够制备更纯的外表涂层，高真空情况能够包管粒子长间隔的自在挪动。

　　咱们能够在真空安装上加装真空规来准确丈量真空度。真空规根据丈量道理的差别能够分为波尔登规、薄膜电容规、皮拉尼规、热电偶规、热阴极电离规、冷阴极电离规等。

　　凡是用真空泵对一个封锁空间经由历程机器、物理或化学的方法停止抽气，从而患上到并保持一个真空情况。真空泵根据事情道理能够分为气体运送泵以及睦体捕集泵，气体运送泵可分为变容真空泵（来去式以及旋片式真空泵）以及动量传送泵（份子真空泵、分散泵、离子泵等）。大大都状况下咱们需求由多少种真空泵构成真空抽气体系配合抽气，才气满意更高真空度的请求bob官方app下载。

　　用于完成真空传输/真空冷冻传输样品，可穿越于差别制样（冷冻断裂/刻蚀，真空镀膜，离子束切割仪，冷冻超薄切片机等）以及察看阐发仪器（SEM，FIB，AFM，XPS等）。

　　1654年5月8日，德国马德堡市市长奥托·格里克，把两个直径14英寸的空心铜半球紧贴在一同，用抽气机抽出球内的氛围，而后用两队马向相反的标的目标拉两个半球。终极用16匹马才将它们拉开，当马用尽了尽利巴两个半球最初拉开的时分，还收回了很大的响声。这就是出名的马德堡半球尝试。

　　恰是因为真空的这些特征，电子显微镜的电子枪bob官方app下载、样品室以及多种电镜制样装备（离子溅射镀膜仪、离子减薄仪等）都需求真空情况。